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机电助理工程师职称论文
（浅析机电技术在真空磁控溅射镀膜设备上的应用）
——蒋攀
成都巨峰玻璃有限公司（157厂）
2016年8月
I
目录
摘要................................................................................................................................ 1 1 机电技术简概.......................................................................................................... 2 2 真空磁控溅射镀膜原理及其特点.......................................................................... 2 2.1 真空磁控溅射镀膜原理................................................................................... 2 2.2 真空磁控溅射镀膜特点................................................................................... 2 3 真空磁控溅射镀膜设备.......................................................................................... 3 3.1 机械部分........................................................................................................... 3 3.1.1 真空室........................................................................................................ 3 3.1.1.1 壳体..................................................................................................... 3 3.1.1.2 真空室门............................................................................................. 3 3.1.1.3 真空室冷却套..................................................................................... 4 3.1.2 磁控溅射靶................................................................................................ 4 3.1.2.1 磁场强度............................................................................................. 4 3.1.2.2 磁场均匀性......................................................................................... 5 3.1.2.3 磁控溅射靶的水冷系统..................................................................... 5 3.1.3 工作架........................................................................................................ 5 3.1.3.1 摩擦传动工作架................................................................................... 5 3.1.3.2 齿轮传动工作架................................................................................... 5 3.1.4 充气布气系统............................................................................................ 5 3.1.4.1 充气布气管路..................................................................................... 6 3.1.4.2 充气布气的控制................................................................................. 6
II
3.1.5 真空系统.................................................................................................... 6 3.1.5.1 典型真空系统..................................................................................... 6 3.1.6 加热系统.................................................................................................... 6 3.1.6.1 加热器................................................................................................. 6 3.1.6.2 测温装置............................................................................................. 6 3.2 控制部分........................................................................................................... 7 3.2.1 电导入导出系统........................................................................................ 7 3.2.1.1 绝缘与导电性能要求......................................................................... 7 3.2.1.2 密封性能要求..................................................................................... 7 3.2.2 电气控制系统............................................................................................ 8 3.2.2.1 传感器................................................................................................. 8 3.2.2.2 电路..................................................................................................... 8 3.2.2.3 终端..................................................................................................... 8
4参考文献..................................................................................................................... 8 附图1 9
III
摘要
常言道：兵马未动，粮草先行。设备对于企业的重要性不言而喻，设备是技术研发的基础，更是批量生产的保障。真空磁控溅射镀膜设备是保障军用航空透明件镀制透明导电膜的关键，而机电技术在真空磁控溅射镀膜设备上有着众多应用。设备人员了解真空磁控溅射镀膜设备的结构及其工作方式，有助于其保养、维修以及改进；技术人员掌握真空磁控溅射镀膜设备的相关知识并综合应用，有助于减少生产成本、缩短研发周期以及提高生产效率。
关键词：机电技术、真空磁控溅射技术、真空磁控溅射镀膜设备。
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