PECVD的工作原理

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偿导线的红色线,而负极则连接剩下的颜色。一般的补偿导线的材质大部分都采用铜镍合金。

其次我们介绍一下热电阻,热电阻虽然在工业中应用也比较广泛,但是由于他的测温范围使他的应用受到了一定的限制,热电阻的测温原理是基于导体或半导体 的电阻值随着温度的变化而变化的特性。其优点也很多,也可以远传电信号,灵敏度高,稳定性强,互换性以及准确性都比较好,但是需要电源激励,不能够瞬时测 量温度的变化。工业用热电阻一般采用Pt100,Pt10,Cu50,Cu100,铂热电阻的测温的范围一般为零下200-800摄氏度,铜热电阻为零下 40到140摄氏度。热电阻和热电偶一样的区分类型,但是他却不需要补偿导线,而且比热点偶便宜。

晶闸管(SCR)原理 :

晶闸管(thyristor)是硅晶体闸流管的简称,俗称可控硅(SCR),其正式名称应是反向阻断三端晶闸管。除此之外,在普通晶闸管的基础上还派生出许多新型器件,它们是工作频率较高的快速晶闸管(fast switching thyristor,FST)、反向导通的逆导晶闸管(reverse conducting thyristor,RCT)、两个方向都具有开关特性的双向晶闸管(TRIAC)、门极可以自行关断的门极可关断晶闸管(gate turn off thyristor,GTO)、门极辅助关断晶闸管(gate assisted turn off thytistor,GATO)及用光信号触发导通的光控晶闸管(light controlled thyristor,LTT)等。

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一、结构与工作原理

晶闸管是三端四层半导体开关器件,共有3个PN结,J1、J2、J3,如图1(a)所示。其电路符号为图1(b),A(anode)为阳极,K(cathode)为阴极,G(gate)为门极或控制极。若把晶闸管看成由两个三极管T1(P1N1P2)和T2(N1P2N2)构成,如图1(c)所示,则其等值电路可表示成图1(d)中虚线框内的两个三极管T1和T2。对三极管T1来说,P1N1为发射结J1,N1P2为集电结J2;对于三极管T2,P2N2为发射结J3,N1P2仍为集电结J2;因此J2(N1P2)为公共的集电结。当A、K两端加正电压时,J1、J3结为正偏置,中间结J2为反偏置。当A、K两端加反电压时,J1、J3结为反偏置,中间结J2为正偏置。晶闸管未导通时,加正压时的外加电压由反偏值的J2结承担,而加反压时的外加电压则由J1、J3结承担。

如果晶闸管接入图1(d)所示外电路,外电源US正端经负载电阻R引至晶闸管阳极A,电源US的负端接晶闸管阴极K,一个正值触发控制电压UG经电阻RG后接至晶闸管的门极G,如果T1(P1N1P2)的共基极电流放大系数为α1,T2(N1P2N2)的共基极电流放大系数为α2,那么对T1而言,T1的发射极电流IA的一部分α1IA将穿过集电结J2,此外,J2受反偏电压作用,要流过共基极漏电流i CBO1,因此图1(d)中的IC1可表示为

IC1=α1IA+i CBO1。 (1)

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同理对T2而言,T2的发射极电流IC的一部分α2IC将穿过集电结J2,此外,J2受反偏置电压作用,要流过共基极漏电流i CBO2,因此,图1(d)中的I C2可表示为

IC2=α2IC+i CBO2。 (2)

由图1(d)中可以看出

IA=IC1+IC2=α1IA+α2IC+ i CBO1+ i CBO2=α1IA+α2IC+IO, (3)

式中,IO= i CBO1+ i CBO2为J2结的反向饱和电流之和,或称为漏电流。

再从整个晶闸管外部电路来看,应有

IA+IG=IC。 (4)

由式(3)和式(4),可得到阳极电流为

IA=(IO+α2IG)/[1-(α1+α2)] (5)

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晶闸管外加正向电压UAK;但门极断开,IG=0时,中间结J2承受反偏电压,阻断阳极电流,这时IA=IC很小,由式(5)得

IA=IC=IO/[1-(α1+α2)]≈0 (6){{分页}}

在IA、IC很小时晶闸管中共基极电流放大系数α1、α2也很小,α1、α2都随电流IA、IC的增大而增大。如果门极电流IG=0,在正常情况下,由于IO很小,IA=IC仅为很小的漏电流,α1+α2不大,这时的晶闸管处于阻断状态。一旦引入了门极电流IG,将使IA增大,IC增大,这将使共基极电流放在系数α1、α2变大,α1、α2变大后,IA、IC进一步变大,又使α1、α2变得更大。在这种正反馈作用下使用α1+α2接近于1,晶闸管立即从断态转为通态。内部的两个等效三极管都进入饱和导电状态,晶闸管的等效电阻变得很小,其通态压降仅为1~2V,这时的电流IA≈IC;则由外电路电源电压US和负载电阻R限定,即IA≈IC≈US/R。一旦晶闸管从断态转为通态后,因IA、IC已经很大,即使撤除门极电流IG,由于α1+α2≈1,由式(5)可知IA=IC仍然会很大,晶闸管仍然继续处于通态,并保持由外部电路所决定的阳极电流IA=IC=US/R。 二、晶闸管的基本特性

晶闸管阳极与阴极间的电压和阳极电流的关第,称晶闸管的伏安

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