发布时间 : 星期六 文章多晶硅生产企业安全技术指导书（自动保存的）更新完毕开始阅读
3.5.1.3还原炉装置区间、混合气体工艺管路室内输送区间的屋顶必须装置可燃性气体实时监测装置，经校验能监测出低浓度氢气（如氢气爆炸下限的1/10以下）等可燃性气体。
3.5.1.4应按照工艺技术操作规程的要求逐步开车，硅芯高压击穿时人员禁止触摸还原炉及与其相连的任何管路设施；启炉成功后注意进料流量，升温升压速度的平稳控制，防止因为升压过快出现泄漏事故。
3.5.1.5开车过程中，现场巡检监护人员应携带移动式可燃性气体报警仪、防毒面具、防爆对讲机等，一旦检测到有泄漏状况，在采取自我防护措施的前提下，及时与中控室取得联系，并服从指挥，按照应急预案进行处理。
3.5.2三氯氢硅还原系统运行控制
3.5.2.1运行应按照三氯氢硅还原系统的工艺规程（或作业指导书）要求进行操作。
3.5.2.2建立巡检监测制度：及时巡检炉内情况，并监测炉内压力，进出气温度压力变化；适时检查还原炉连接电缆、接头等运行状况，防止过热烧红现象发生。发现异常，按应急预案进行处理。
3.5.2.3定时进行巡检，记录工艺运行参数，并比照前后运行参数，防止系统出现异常。
3.5.3三氯氢硅还原系统停车。
3.5.3.1按照三氯氢硅还原系统的工艺规程（或作业指导书）要求进行操作。 3.5.3.2还原炉停混合气后，应先通氢气进行置换，硅棒断电后，应待还原炉出气温度降低至100℃以下再通入氮气进行置换，使氮中氢在氢气爆炸下限1/10以下。
3.6危险化学品运输、装卸作业 3.6.1危险化学品运输
3.6.1.1危险化学品运输应具有运输危险化学品货物经营资质，应专车专用，应设有车辆消防安全设施，并有明显标志。
3. 6.1.2汽车运输、装卸危险货物作业应符合JT 617-2004（汽车运输危险货物规则）、JT 618-2004（汽车运输、装卸危险货物作业规程）规定。汽车运输危险货物车辆标志应符合GB 13392-2005（道路运输危险货物车辆标志）要求。
3.6.2危险化学品装卸
3.6.2.1应按照危险化学品装卸车的操作规程（或作业指导书）的要求操作。 3.6.2.2运输氯硅烷的槽车设计压力不得低于0.6Mpa。
3.6.2.3车辆进入装卸位置后，应先接好防静电导线，隔离装卸车区域，禁止其他车辆进入装卸车区域。
3.6.2.4氯硅烷装卸作业应使用承压能力不低于0.6Mpa的耐压软管，连接形式必须采用法兰连接；
3.6.2.5雷雨天不得进行氯硅烷装卸车作业，当物料装卸区有动火作业时应停止装卸作业。
3.6.2.6氯硅烷装卸车过程发生泄漏时应立即将泄漏部位与其它系统断开，操作人员穿戴防护用品将物料压入事故罐内，然后根据泄漏部位的具体情况确定处置方法。
3.7公用工程
3.7.1氢气站的生产应严格遵守GB50177-2005《氢气站设计规范》和GB4962-2008《氢气使用安全技术规程》的有关规定。
3.7.2热能转换系统应按照设计要求向工艺系统提供加热或冷却介质，生产操作时按照工艺技术规程、安全操作规程（或作业指导书）执行。
3.7.3循环冷却水的水质符合GB 50050-2007的规定，水质稳定剂须经化验并确认符合要求才能投入生产使用；水质稳定剂的存放地点符合安全要求。
3.7.4生产装置各10kV配电站应为双回路供电，母联具有备自投功能。当一路电源事故跳闸时，可自动切换至另一电源供电。其设计容量应满足单电源带全部负荷运行。
3.7.5所有变配电站均为两台及以上配变变压器运行，互为备用，其低压具有手动合环运行功能，变压器容量应满足单台变压器同时带低压全部负荷运行。
4、安全管理体系
企业应以保证多晶硅生产过程安全、卫生为目标，建立全员安全生产责任制和相应的安全标准化管理体系。
附录A：
多晶硅生产企业火灾危险性分类
A.1火灾危险性分类
多晶硅生产中危险化学品的火灾危险性按照GB50016-2008《建筑设计防火规范》的规定。
A.1.1可燃危险化学品的火灾危险性分类表 危险化学品名序号 称 1 2 3 4 超细硅粉 氢气 三氯氢硅 二氯二氢硅 危险 类别 第4.1类 易燃固体 第2.1类 易燃气体 闪点 ℃ —— —— 自燃点 ℃ 775 400 爆炸极限（V/V） 下限 160mg/m3 4.1 6.9 4.1 上限 —— 74.1 70.0 99.0 火灾危险类别 乙类 甲类 甲类 甲类 第4.3类遇湿-13.9 175 易燃物品 第2.3 有毒气体 —— 85* *在潮湿空气中，会发生局部放热反应，实际发生闪爆的环境温度往往大大低于该自燃点，这是造成目前发生最多的多晶硅企业爆炸事故的原因。
A.2防爆等级划分
A.2.1爆炸性气体环境危险区域按照GB 50058-1992第2章第2节的规定划分。 A.2.2粉尘环境危险区域按照GB 50058-1992第3章第2节的规定划分。 A.3多晶硅生产装置火灾危险性分类
A.3.1氢氧站生产装置、氯化氢合成装置、三氯氢硅合成装置、氯硅烷分离与提纯装置、多晶硅还原装置、还原尾气回收与分离装置、氢气罐区、氯硅烷罐区的火灾类别为甲类易燃易爆作业场所，属爆炸性气体环境；
A.3.2硅粉库生产装置火灾类别为乙类，属爆炸性粉尘环境。 附录B ：
多晶硅生产场所空气中 主要有毒物质及粉尘容许浓度
B.1多晶硅生产场所空气中有毒物质及粉尘容许浓度 序危险化学品号 名称 1 2 硅粉 氢氟酸 危险 类别 第4.1类 易燃固体 第8.1类酸性腐蚀品 毒性危害健康危害特性 级别 矽肺 中毒、灼伤 —— Ⅱ 工作场接触限值mg/m3 MAC —— 2 TWA 1.5 —— STEL 3 —— 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 硝酸 氢氧化钾 氢氧化钠 压缩氩气 压缩氮气 氯气 氢气 三氯氢硅 二氯二氢硅 四氯化硅 氯化氢 盐酸 第8.1类酸性腐蚀品 第8.2类碱性腐蚀品 第8.2类碱性腐蚀品 第2.2 类 不燃气体 第2.2 类 不燃气体 第2.3类 有毒气体 第2.1类 易燃气体 第4.3 类遇湿易燃物品 第2.3 有毒气体 第8.1类酸性腐蚀品 第2.2类 不燃气体 第8.1类酸性腐蚀品 中毒、灼伤 灼伤 灼伤 窒息 窒息 中毒、窒息 窒息 中毒、灼伤 中毒、灼伤 中毒、灼伤 中毒、灼伤 中毒、灼伤 Ⅲ IV IV —— —— Ⅱ —— Ⅲ Ⅲ Ⅲ Ⅲ Ⅲ —— —— 2 0.5 —— 2 —— —— 2 —— —— —— —— —— —— —— —— —— —— —— —— —— 1 —— —— —— 3 —— —— —— —— —— 7.5 7.5 —— —— 附录C ：
多晶硅生产过程中的危险、有害因素（资料性）
C.1危险因素 C.1.1火灾
火灾发生必须具备空气（氧气）、可燃物质、引燃（爆）能量三个条件。当氢气或氢气与氯硅烷混合气或三氯氢硅（二氯二氢硅、一氯三氢硅）泄漏时，遇明火或静电等其他能量引燃容易引起火灾；氢气或氢气与氯硅烷混合气或三氯氢硅（二氯二氢硅、一氯三氢硅）容器管道破裂时遇明火或静电等其他能量引燃容易发生火灾。
C.1.1.1可燃物质 a) 氢气、三氯氢硅、二氯二氢硅、一氯三氢硅、导热油。
b) 生产过程中在某些生产装置内形成的未彻底水解的浅黄色干燥团状或块状物质，这些物质具有较强的燃烧性，往往在脚踩的情况下即可发生燃烧。
c) 活性炭等、超细硅粉（包括还原过程中产生的超细无定型硅）。 D.1.1.2引燃能量
a)明火或高温物体表面：氢气电加热器、还原炉运行状态、作业场所内部或外部带入的烟火、照明灯具灼热表面，设备、管道、电器表面的过高温度、气焊割明火、机动车排气管喷火、烟囱飞火花等；