发布时间 : 星期六 文章扫描电镜的结构、原理及其操作使用 - 图文更新完毕开始阅读
扫描电镜的结构、原理及其操作使用一、实验目的
?了解扫描电镜的工作原理及构造。?初步学习Sirion200场发射扫描电镜的操作方法。
?利用二次电子像对断口形貌进行观察。
二、扫描电镜的构造
优点:?景深长、图像富有立体感;
?图像的放大倍率可在大范围内连续改变,而且分辨率高;
?样品制备方法简单,可动范围大,便于观察;?样品的辐照损伤及污染程度较小;?可实现多功能分析。二、扫描电镜的构造
构成:?电子光学系统,包括电子枪、电磁透镜和扫描线圈等;
?机械系统,包括支撑部分、样品室;?真空系统;
?样品所产生信号的收集、处理和显示系统。