KOLON干膜培训资料.pp t

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影像转移(Image Transfer)

?显影的作用:

是将未曝光部分的干膜去掉,留下感光的部分。

?显影的原理:

未曝光部分的感光材料没有发生聚合反应,遇弱碱Na2CO3(1.0%)溶解。而聚合的感光材料则留在板面上,保护下面的铜面在电镀时不被镀上铜及锡(正片),或保护线路铜及孔铜在蚀刻时不被蚀刻掉(负片)。

影像转移(Image Transfer)

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显影的四个基本参数:1、显影速度;2、显影浓度;3、显影温度;4、显影压力。

通过调整这四个基本参数,以获得一个干膜合适的露铜点。

露铜点测定方法:使用已贴膜的铜板,在正常使用的显影速度与喷压下,检验其在缸内完全退膜与未退膜的位置。当该板中间行至显影缸50%时关喷压,若从显影缸入口处到板上被显影干净的长度为显影缸全长的40~60%,则为最佳显影速度(露铜点速度)。

影像转移(Image Transfer)

?显影注意或建议事项:

1、曝光后的板件应停放15分钟以上方可显影,但一般不建议停放超过24小时。2、显影时应注意撕干净干膜保护膜。保护膜未撕干净显然会带来显影不良。而返显影则又会使已显影的板面部位显影过度,带来线路狗牙及封孔穿孔等问题。

3、不同干膜所须求的显影参数会有所不同,但一般情况下显影液(Na2CO3或

K2CO3)的浓度、温度要求相同,不同的是压力及显影时间(即显影速度)。通常以显影点(露铜点)界定合适的显影速度,一般在40-60%之间(显影点应注意上下板面均衡、同一面均衡)。

4、显影后充分的水洗极其重要,一般要求水洗时间与显影时间之比大于1:1。5、除了显影及水洗的有效过滤外,水洗水的溢流也可一定程度减少菲林碎对板

面的粘附。具体可观察各段水洗的菲林碎多寡来衡量溢流量的大小。6、如必须使用消泡剂,须寻求与干膜兼容的类型,一般不可含硅。

7、显影喷咀类型(锥型、扇型)、喷咀排布(品字排布)也是影响显影效果的一大因素。掉喷咀、喷咀堵塞将不可避免地影响显影效果。

8、北方厂家因天气原因一般在水洗段也安装加热,但在南方,一般不需要对水

洗水加热。而较高的水温对干膜的封孔能力也具一定的影响。

9、某些厂家显影后设置一段止水洗,其实如此设置根本不合理。因为随着显影

液随板件的不断带入,最后此止水洗也一定程度地变成了显影液,必然导致显影点的前移,因而造成了显影过度或封孔穿孔。

10、显影后的板件避免在酸碱环境长时间停放。显影后的板件最好在24小时内

进缸电镀或(负片)蚀刻。

KOLON干膜显影、蚀刻(负片)、褪膜控制

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显影参数:

Na2CO3浓度:1.1±0.1%;显影液温度:30±2℃;

显影喷压:1.0-1.5Kg/cm2(应注意上下喷压的匹配);显影速度:视露铜点确定;

水洗:压力1.5±0.5Kg/cm2,水洗时间至少不少于显影时间,应注意最后一级的新鲜水补加以使最后一级水洗向最前一级水洗的逐级溢流。

?蚀刻:KOLON干膜于负片流程必须使用酸性蚀刻。蚀刻喷压范围建议在1.5-3.5Kg/cm2,具体视蚀刻段的长短、有无补偿等而定。

?褪膜:NaOH碱液浓度建议为1.5-3.0%,较高浓度时膜碎尺寸较大,但褪膜速度并未明显加快。

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