TSMC工艺的 - 版图教程

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接着点击空白处,然后按快捷键L 弹出以下窗口

在Label这里输入名称(注意这个名称要与

schematic图中节点的名称要相同),Height这里设置字体的高度,Font这里设置字体的样式,然后按回车,将PIN脚摆放到正确位置

7、补全其它连线

因为上图并不完整,还有很多连线没有连。[在熟悉版图画法之后这一步是放在前面做的,因为我们熟悉画法后就知道哪里是VDD、gnd、输入和输出]

画完这个7步骤以后点左边工具栏的SAVE保存,然后就可以进行后面的DRC、LVS和PEX了。

补充知识--多层金属连线:

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(以下讲解两层金属metal1和metal2的布线) 由于金属走线经常会交叉,所以单层金属是不够的,这就涉及到多层金属的布线。

metal2 drw是金属层2

metal1和metal2之间用通孔M2_M1

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画版图一些技巧:

1、所有的MOS管最好同方向(竖方向),不要有有横有竖。最好是PMOS管放一起(比如一起放上面),NMOS管放一起(一起放下面),不一定是按照schematic电路图上的MOS管顺序来摆放。

2、走线不要穿过MOS管,要绕过去。

3、单排衬底接触最长不要超过100um,比较敏感的管子要多加些接触(两排或多排),衬底接触少了电阻会大。一般情况我们采用单排衬底(即rows或columns=1) 4、横线用金属2,竖线用金属1,金属越宽电阻越小。我们一般取0.5u宽度。 [寄生电容与发生寄生电容的两导体面积成正比,因此线宽就0.5u够了(能承受1mA),不需要再大。(TED)]

5、版图的PMOS管和NMOS管 源极和漏极是不区分的,上下的poly1都是栅极。

6、衬底接触一般在下面画一排接触即可,对于数模混合电路某个MOS管是特别敏感的那用衬底全包围。

7、走线尽可能短,尽量画的紧凑,减少延时。 8、尽量不用POLY来走线,如果两个栅极之间具体太长,中间用金属走线。poly的长度最多是3-5um。

9、同一层Metal之间的距离要大于最小值0.23um,一般是设置成大于0.5um。比如两条metal1走线之间的距离要大于0.5um。

10、PMOS管的衬底全部接VDD,NMOS管的衬底全部接地

各种器件之间的距离:

1、PMOS管和NMOS管之间的距离一般控制在1um以上,太近DRC报错 2、两个不同电压nwell之间的距离要大于1.4u,因此一开始要预留5um 3、Nwell和NMOS管之间的距离推荐是大于1u 4、Nwell和衬底接触以及PMOS管的距离0.5u左右 5、衬底接触和mos管距离一般设置为0.5u

电容和电阻器件不选择analoglib里面的cap和res(这两个是理想电容电阻),电容一般选择tsmc里面的mimcap,电阻则要看电阻率等具体要求。(TED&黄)

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———————————————————————————————— 快捷键

K 尺寸距离 (shift + k撤销尺寸) S修整

M 移动 选上后右键可旋转

Z 放大(ctrl+z 放大两倍,shift +z 缩小两倍) Shift 选择多个器件

Shift+F 显示NMOS和PMOS器件的版图

O 打孔(pmos管衬底属性选择M1_NWELL nmos管选择M1_SUB 金属和poly打孔属性选择M1_POLY1)

三、后端验证和提取

后端仿真首先要DRC,然后LVS,然后PEX提取寄生参数。最后用Hspice仿真器仿真提取参数后的网表。 这里主要用到的是calibre工具

1、 DRC

(上面工具栏中calibre—选择Run DRC)弹出下面窗口

Runset File是RUN DRC时需要填入的一些设置,方便于下次RUN,可直接取消掉

DRC主要设置rules的位置和DCR Run的路径 [其余的都默认]

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Rules这里选择TSMC库文件中calibre文件下的calibre.drc

(这里的DRC Run Directory 是自己创建的一个文件夹,su xue~cd /home/xue ~ mkdir drc)[这里dcr改为verify/dcr]

然后点击Run DRC 弹出以下窗口

(运行完成之后的弹出的窗口)

点开看,如果是area coverage 那就是覆盖率的问题,这种错误不用理会。[比如上图中得这8个错误是没关系的]

2、Run LVS

同样Runset File点取消 设置rules和input的netlist

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