热生长SiO2 sin 薄膜厚度颜色对照表

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热生长SiO2(折射率1.48)和氮化硅(折射率1.97)颜色对照表 颜色 SiO2厚度(单位:埃) Si3N4厚度(单位:埃) 银 270 200 褐 530 400 黄褐 730 550 红 790 730 深蓝 1000 770 蓝 1200 930 浅蓝 1300 1000 极浅蓝 1500 1100 银 1600 1200 浅黄 1700 1300 黄 2000 1500 橘红 2400 1800 红 2500 1900 暗红 2800 2100 蓝 3100 2300 蓝绿 3300 2500 浅绿 3700 2800 橘黄 4000 3000 红 4400 3300

注意存在多序列。一个红色的氧化膜可能是730~790,2400~2500,或者4000~4400(单位:埃)

淀积的氮化硅薄膜在日光照射下垂直观察所呈现的颜色

与厚度对照表

薄膜厚度(nm) 10 17 25 34 35 43 53 60 70 颜色 淡褐色 浅褐色 褐色 粉褐色 粉紫色 紫色 极深蓝色 深蓝色 浅蓝色 薄膜厚度(nm) 95 105 115 125 135 145 155 165 175 颜色 淡蓝色 极淡蓝色 浅蓝褐色 淡黄褐色 极淡黄色 淡黄色 黄色 亮黄 深黄

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