向湘君毕业论文1

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这种条件下形成的绒面角锥体尺寸较大。当表面张力达到一定程度后,气泡会形成覆盖面积较大的扁平状,这时如果溶液的粘度又较大的话,气泡就不容易离开硅片表面,这样腐蚀出来的表面平整度和均匀性都很差。

绒面的形成可以分为(a)成核、(b)扩展、(c)绒面3个阶段,如图4-6所示。成核阶段对绒面覆盖率至关重要,实际上,成核密度高,覆盖率就高;成核密度低,则很难采取补救措施。

图4-6 角锥体形成核到绒面形成的过程

4.4 陷光原理

陷光原理就是指使入射光进行二次或者多次反射,从而减少反射率。 碱的异性腐蚀可以在单晶硅表面上形成类“金字塔”形结构,图7为周期性的“金字塔”绒面陷光的二维示意图,入射光线I在金字塔某侧面上的第一点入射后,反射光会在另外的一个金字塔侧面再次入射形成第二次光吸收,经计算可知还有11%的二次反射光可能进行第三次反射和折射,由此可算得绒面的反射率为9. 04%,如果再镀减反射膜,可将反射率降至3 %。在同样尺寸的基片上,绒面光电池的p-n结面积比光面大得多,因而可以提高短路电流和光生载流子

图4-7 陷光原理示意

图4-8 在扫描电镜下绒面电池表面的形貌

图4-9 倒金字塔绒面反射机制

4.5 制绒的因素分析

为了提高单晶硅太阳电池的光电转换效率,工业生产中通常采用碱与醇的混合溶液对(100)晶向的单晶硅片进行各向异性腐蚀,在表面形成类“金字塔”状的绒面,有效增强硅片对入射太阳光的吸收,从而提高光生电流密度。对于既可获得低的表面反射率,又有利于太阳电池的后续制作工艺的绒面,应该是金字塔大小均匀,单体尺寸在2~10 微米之间,相邻金字塔之间没有空隙,即覆盖率达到100%。理想质量绒面的形成,受到了诸多因素的影响:

1.反应时间对绒面形貌和反射率的影响

(a)1min (b)5min (c)10min (d)15min

图4-10 不同时间下的绒面

单晶硅片经1 分钟、5 分钟、10 分钟、30 分钟腐蚀后,表面的微观形貌。由图4-11可以看出在适宜的条件下,金字塔的成核、生长的过程。经热的浓碱去除损伤层后,硅片表面留下了许多肤浅的准方形的腐蚀坑。1 分钟后,金字塔如雨后春笋,零星的冒出了头;5 分钟后,硅片表面基本上被小金字塔覆盖,少数已开始长大。我们称绒面形成初期的这种变化为金字塔“成核”。如果在整个硅表面成核均匀,密度比较大,那么最终构成绒面的金字塔就会大小均匀,平均体积较小,这样的绒面单晶硅片不仅反射率低,而且有利于后续的扩散和丝网印刷,制造出的太阳电池的性能也更好。很多相关的研究工作就是着力于增大金字塔的成核密度。

从图4-11 的c 可以看出,10 分钟后,金字塔密布的绒面已经形成,只是大小不均匀,反射率也降到了比较低的水平。随着时间的延长,金字塔向外扩张兼并,体积逐渐膨胀,尺寸趋于均等,反射率略有降低。在实际生产中,硅片卡在承片盒内的区域,受到的腐蚀不充分,绒面成形的时间较其他区域要长。另一方面,我们通过大量生产实践发现,大金字塔的绒面单晶硅电池,性能略逊于小金字塔。原因可能在于,大金字塔尖锐的塔尖易于崩塌,扩散形成的pn结受到了破坏。所以,我们在优化单晶硅片制绒工艺时,应该既考虑降低反射率,也要兼顾太阳电池的最终性能和外观等各方面的因素。

2.乙丙醇的含量对绒面的影响

(a)无异丙醇 ( b)3vol% (c)10vol% (d)30vol%

图4-11 异丙醇不同浓度下的绒面

当溶液中不含乙丙醇时,反应进行的速度比较快,硅片经30 分钟制绒处理后,两面共被腐蚀减薄了40 微米。表面只有一些稀疏的金字塔,体积比较小。由于金字塔的覆盖率很低,硅片对光的反射最强烈。我们向溶液中加入了少许乙丙醇(3vol%),这种情况就大有改观,反应速度减缓,经过相同时间的腐蚀,硅片只减薄25 微米,而金字塔分布错落有致,反射率几乎降到了最低。只是在制绒过程中可以观察到,有一些反应产生的氢气泡贴在硅片表面,缓慢释放,造成外观的斑点,为商业销售所不喜。只需将乙丙醇的含量增大到5vol%,斑点的问题即可解决。乙丙醇的含量在3 vol%至20 vol%的范围内变化时,制绒反应的变化不大,都可以得到比较理想的绒面,而5 vol%至10 vol%的环境最佳。当乙丙醇的含量达到30 vol%,金字塔的覆盖率再次降低,反射率升高,只是此种条件下的反应速度缓慢,硅片只减薄了10 微米。

乙丙醇在制绒液中主要起到两点作用:一,协助氢气泡的释放;二,减弱NaOH 溶液对硅片的腐蚀力度,调节各向异性因子。第一点已经为大家所认同。从硅片减薄的程度可以判断,随着乙丙醇的增加,硅片被腐蚀的速度减慢。纯NaOH 水溶液,在高温下不仅对原子排列稀疏的(100)晶面破坏性很强,对致密的(111)晶面也不再和颜悦色,各个晶面都受到腐蚀而不断消溶。于是大部分的区域被冲刷形成了平原;而在局部,由于氢气泡或溶液中某些杂质的庇护,一些零星的金字塔暂时幸存了下来。乙丙醇明显减弱了NaOH 的腐蚀强度,增强了腐蚀的各向异性,有利于金字塔的成形和生长。而当乙丙醇的含量过高时,碱溶液对硅的腐蚀能力变的很弱,各个晶面都好像坚不可摧的铜墙铁壁,各向异性因子又趋向于1。

3.NaOH 的含量对绒面的影响

图4-12 NaOH不同浓度下的绒面

从绒面的表面可以看出,经过相同时间的生长,NaOH的浓度越高,金字塔

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