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13 特种气体系统验收
6.1一般规定
特种气体系统验收包括设备验收、管路系统验收和气体侦测/监控系统验收等。 6.2设备验收 6.2.1机械面板验收
1． 外观和流程检验
对照流程图、配置表、钢瓶接口形式等设计参数进行检验，包括管道 横平竖直、焊接质量合格、调节阀规格和流向、气动/手动阀门规格和流向、单向阀规格和流向、微漏阀规格和流向、压力变送器/压力表规格、过滤器规格、过流开关规格和安装方向、安全阀流向和设定压力、VCR是否锁紧、管道支架安装、吹扫入口管径、工艺出口管径、排放口管径、危险标签等。
2． 仪器测试
检查出厂各项仪器测试报告，包括保压、氦检、颗粒度、水分、氧分 等测试。参见管路系统验收章节。 6.2.2 控制系统验收
根据控制逻辑，检查各监测和联动部件的功能，包括压力传感器、电子秤、过流开关(EFS)、高温开关、火焰侦测器(UV/IR)、负压开关、紧急切断(EMO)、输入电源、输入输出信号、接地保护、功能联动测试等。 6.3 管路系统验收
施工单位应通过其质检人员对施工质量进行检验。建设单位或其授权机构，应通过其质检人员对施工质量进行监督和检查。 6.3.1 外观与文件检验
1．对照流程图，检查管件的安装位置和方向。 2．检查焊接管道是否有裂缝，特别是弯管处；
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3．检查管道对焊是否符合下列规定：
序号 1 2 3 4 5 6 检查内容 指标 凹陷度 <10%管壁厚 凸起度 <10%管壁厚 错边量 <10%管壁厚 焊缝宽度 色泽 焊缝偏斜度 管壁厚<宽度<3倍管壁厚 无明显变色 <20%焊缝宽度 4．检查管道组成件的质量文件； 5．检查施工过程中的焊样、焊接日志。 6.3.2压力试验
1．管道安装完毕，外观检验合格后,必须进行压力试验。为了避免污染，高纯系统压力测试采用气压试验，不可采用水压试验，不得使用检漏液。试验气体应采用高纯氮气或氩气，不可采用氦气。在进行系统保压之前请确认完成管道吹扫，避免铁屑污染阀门及管道。吹扫需采用大压力大流量的气源(5kg/cm2以上)进行循环吹扫；
2．压力试验前应确保焊缝及其他待检部位尚未涂漆和绝热，待试管道与无关系统已用盲板或采取其他措施隔开，待试管道上的安全阀、爆破板及仪表元件等已经拆下或加以隔离；
3．试验用压力表已经校验，并在周检期内。试验用压力表，直径应大于150mm。对于低压（<150psig），要求刻度为1 psi；对于高压(>500psig),刻度可采用5psi的刻度；
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4．压力测试分耐压测试和保压测试两种。耐压测试采用设计压力的115%，时间30分钟。保压测试采用设计压力的90%，时间24小时；特气系统的测试压力最高不超过2,000psig.
5．保压过程应记录起止温度。考虑温度修正后，压降值不得超过1%；
Pc = [(P1 + Patm) x (T2)/(T1)] - Patm 和: dP = Pc - P2 此处， P1 =初始表压
P2 =最终表压 Pc =温度校正最终表压
Patm =大气压力，通常为1.01 bar a (14.7 psia) dP =温度校正后的压差
T1 =初始周围温度°K （=℃+273.15) T2 =最终周围温度°K （=℃+273.15)
6．建设单位应参加压力试验。压力试验合格后，应和施工单位一同填写“管道系统压力试验记录”,包括；
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所测系统名称、测试日期 所测系统管道直径和长度
测试开始时间、终止时间和总历经时间 压力和温度数据 仪器校验报告
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7．压力测试目的和程序见附件（条文说明）； 6.3.3 氦测漏
1．特气系统压力试验完成后，考虑到安全和纯度的要求，必须进行氦测漏;
2．所有可能泄漏点需要用塑料袋隔离；
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3．氦测漏应采用质谱式检测仪，其检测下限不低于1x10-10 atm.cc/sec;
4．氦测漏包括内漏(Inboard)测试、阀座(Cross seat)测试和外漏(Outboard)测试；特气系统通常采用内漏测试法； 5． 内漏测试（喷氦法）不得高于1x10-9 atm.cc/sec 6． 阀座测试不得高于１x10-6 atm.cc/sec
7． 外漏测试（吸枪法）不得高于１x10-6 atm.cc/sec 8． 氦测漏的测试顺序为：内漏法、阀座测试、外漏法；
9． 检测漏点修补后，必须重新经过保压测试，然后才能再进行氦检； 10．系统测试完毕，应充入高纯氮气或氩气，并维持1-5slpm的吹扫； 11．氦测试完毕后，应提交测试报告，包括：
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所测系统名称、测试日期
所测系统管道直径和长度、检测点数量
测试开始时间、各点喷氦时间、终止时间、泄漏峰值时间 背景氦漏率和峰值氦漏率 测漏仪器序列号 仪器校验报告
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6.3.4 颗粒测试
1．为了保证特气管路纯度，系统应进行颗粒测试；
2．特气系统颗粒测试时，吹扫气体的雷诺数应大于10,000（2”及以下管道）； 外径（英寸） 1/4 3/8 1/2 气体流量 slpm (scfh) 35 50 75 (70) (100) (150) 4
雷诺数 10,000 10,000 10,000