发布时间 : 星期二 文章LCD 产业现况解析 - 图文更新完毕开始阅读
壹、全球LCD曝光設備產業動向
Canon也集中資源開發11G對應設備。在光學部分以及平台技術部分，繼續沿用以前的技術，在製程腔部分，以朝盡量減少人工作業的方向推動研發。作業員在腔室內作業除了會產生塵埃之外，因為高度高達6~7公尺，也必須考慮安全上的問題。因此，將以前手動操作的光學部分調整作業等，更改為直接操作設備外部的控制盤。另外，為了可以順利開始啟動，以及假設必須在客戶公司現場有效率地完成組裝，也重新檢討了零配件的結構。11G對應設備的交貨預定於2011年的下半期。
在曝光設備部分，提高開口率以降低面板的消費電力、安裝120/240Hz驅動等，以改善裝置的性能。既確保了開口率，也出現更多改善解析度以及套準精度的需求。另外，因為既有的大尺寸a-Si TFT的精密程度已經與中小尺寸LCD並駕齊驅，相信將會出現裝置精密度必須高達1.5~2μm程度的要求。至於Netbook筆記本電腦等級的7~11吋，因為隨身攜帶移動，必須降低消費電力。也有人認為製程革新，將從第5代（5G）起重現江湖。
三、PSA以及光配向以量產程度正式起跑
各家LCD廠商為了因應逼近成本的面板價格降價，紛紛再度降低了生產成本。包括背光源（BL）、光學薄膜的組成、Cell結構、變流器以及電源迴路等所有部分，似乎會出現翻天覆地的變化。第一步就是重新檢討Cell結構。透過重新檢討Cell結構，提高面板的透過率與BL的光使用效率，減少光源的搭載數量。這樣一來，可同時降低成本與降低消費電力。至於最近受到各界矚目的LED-BL，則遇到發熱的問題。在側光式模組中，因為熱度容易集中在面板邊緣部位，液晶材料受損，並且聽說出現了外圍與中央回應
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TFT-LCD產業觀察與現況解析報告＜Y98Q3＞
速度不同的例子。提高透過率，雖然可幫助減少光源裝載數量，同時也可以成為一種散熱方案，深受各界期待。
表1 「FX-75S/85S」（Nikon）規格
解析度 投影倍率 對準精度 基板尺寸 光罩尺寸 產品生產時間 3.5μm（g/h/i線模式)、3.0μm(i線模式) 1：1 ≦±0.6μm 1950×2250mm（75S）、2500×2200（85S） 1220×1440mm 58s/plate（75S）、60s/plate（85S） （4光罩掃描方式時，30mJ/cm2，4EGA/scan，g/h/i線模式） 資料來源：Electronic Journal (2009/08);金屬中心產研組(2009/09)
圖1 Nikon的最新曝光設備的透視圖
資料來源：Electronic Journal (2009/08);金屬中心產研組(2009/09)
在Cell相關技術部分，台灣友達（AUO）在大尺寸生產線上採用PSA（Polymer Sustained Aligment），以及夏普採用光配向技術等成為各界注目的焦點。在PSA部分，使用混合UV硬化單體的液晶材料，在ODF之後，印加電壓並照射UV，單體開始活性化並與聚合物層反應後，預傾角固定。優
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壹、全球LCD曝光設備產業動向
點為即使VA模式中必備的突起或是彩色濾光片（CF）上沒有縫隙（slit），依然可以進行液晶的配向。因為CF部分形狀平坦，就裝置而言，也具有不會出現殘留位相差或是光漏的好處。目前已經應用於手機或是電視產品。但是，因為配向處理均一度差，使用在電視上時，畫質不均就是尚待解決的問題。在產品生產時間方面，因為一次以強烈紫外線照射的緣故，形成大量的小針孔，必須以低能源進行長時間的照射。V?Technology則在紫外線照射部分，提出使用新型光源以及水冷方式進行強制冷卻的「FACE」方案。如果使用這項技術，可以壓倒性地將原本需要30分鐘的紫外線照射時間縮短到30秒左右。除了友達光電量產使用PSA之外，另外，夏普也使用於中小尺寸的生產線上，並正在生產。另外，韓國的Samsung Electronics與台灣的奇美光電則正在進行研發。
在光配向技術部分，V Technology接到了曝光機「EGIS」總計95億日圓的大型訂單。光配向使用的機種，已經於4年前完成研發，雖然長期處於等待客戶下單的狀態，在降低生產成本的氣氛逐漸高漲之際，終於獲得客戶採用。光配向除了可以進行高產出率的生產之外，另外，還擁有其他如製程範圍較大等優點。透過率也高於PSA。但是，材料與裝置成本偏高，則是比較令人擔憂的問題。此外，聚醯亞胺（PI）擁有波長依存性與光照射量依存性的特性，因此需要配合使用配向材料與製程方面的Know-how，如無經過長時間的研究與累積，難以導入量產。目前，可以用於量產的公司只有夏普一家，但是，據聞Samsung正在進行研發。
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四、EGIS將CF以及TFT的設備納入目標
EGIS曝光機因為可以大幅度幫助降低營運成本，即使是在CF方面的運用，採用活動也十分活躍。組合成電視套裝狀態在經LCD廠商測試後，結果顯示良好，因此，共同研發的日本精工也期待可以儘快被採用。EGIS因為裝載了高精度的影像檢出技術，可以瞬間檢查出Pattern偏移以及基板熱變形等問題，並可立即進行補正並同時曝光。不同於利用對準圖形進行對位的既有設備，因為可以同時讀取被瞄畫的Pattern並進行曝光的關係，因此，被認為是最適合用來讀取黑色矩陣（BM）並曝光RGB的方法。這個相同的手法，也被認為是用來在TFT上形成CF的Color Filter on Array（COA）的最佳曝光法。因為COA在貼合的玻璃上可以使用鈉鈣玻璃，可以有效大幅度降低成本。V Technology在TFT使用方面，目前針對8G以上提案了結合微透鏡陣列結構的試作設備。據說10G的光罩一枚價格就超過2億日圓，因此，即使是試作的光罩也是一項重大的負擔。基於8G玻璃也是同樣道理的判斷，將之定義為量產設備前的銜接階段，於2010年3月之前交貨，並針對其他LCD廠商推廣營業活動。
五、主要廠商戰略
(一) NIKON
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