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KOLON干膜曝光控制
?曝光能量控制在6-8格盖膜(21级曝光尺)?KP-2640干膜曝光能量与曝光尺对应表:
能量设置(mj/cm2)172130对应光尺(盖膜)678影像转移(Image Transfer)
干膜显影及后续(正片):
先褪除感光干膜露出未镀铜锡或其他抗蚀层的底铜,再蚀刻掉露出的底铜。
影像转移(Image Transfer)
?干膜显影及后续(负片):
显影
通过碳酸钠药水的作用,将未曝光部份的干膜溶解并冲洗掉,留下感光的部份。
蚀刻
未被感光干膜所覆盖的露铜部份将会被蚀刻掉,从而形成线路。
褪膜
将受保护的线路上面的感光干膜用NaOH碱液褪除掉。
AOI
检查所形成线路的品质情况
影像转移(Image Transfer)