2008半导体物理期末考试试卷A-参考答案与评分标准 联系客服

发布时间 : 星期六 文章2008半导体物理期末考试试卷A-参考答案与评分标准更新完毕开始阅读

(2)在何处附近半导体是简并的?(4分) 答:在靠近x=L附近 (4分)

或 分为三个区域,每个区各为 2分 或 2L/3

(3)试推导流过x=x1处的电子的电流密度表达式?(4分) 答:

J?nq?nE?qDndEFdn??n?0 dxdx (1.5分)(1.5分) (1分)

四、一束恒定光源照在n型硅单晶样品上,其平衡载流子浓度n0=10cm,且每微秒产生电子-空穴为10cm。如τn=τp=2μs,试求光照后少数载流子浓度。(已知本征载流子浓度ni=9.65×10cm)(5分) 解:在光照前:

光照后:

9

-3

14

-3

13

-3

p?p0??pGni2???pGn02分2分5?6

101313?3?9.31?10?2?10??2?10cm1?10?6 (0.5分)(0.5分)

五、在一个均匀的n型半导体的表面的一点注入少数载流子空穴。在样品上施加一个50V/cm的电场,在电场力的作用下这些少数载流子在100μs的时间内移动了1cm,求少数载流子的漂移速率、迁移率和扩散系数。(kT=0.026eV)(6分) 解:在电场下少子的漂移速率为:

v?1cm?104cm/s

100?s(1分)(0.5分)(0.5分)

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v1042?cm/?Vs? 迁移率为:??E50 (1分)(0.5分)(0.5分)

扩散系数为:Dp?kT??0.026?200cm2/s?5.2cm2/s q(1分) (0.5分)(0.5分)

六、掺杂浓度为ND=10cm的n型单晶硅材料和金属Au接触,忽略表面态的影响,已知:WAu=5.20eV, χn=4.0eV,

Nc=10cm,ln10=6.9 在室温下kT=0.026eV, 半导体介电常数εr=12, ε0=8.854×10(4+4+4=12分)

⑴ 半导体的功函数;(4分)

⑵ 在零偏压时,半导体表面的势垒高度,并说明是哪种形式的金半接触,半导体表面能带的状态;(4分) ⑶ 半导体表面的势垒宽度。(4分) 解:⑴由ND19

-3

3

-12

16

-3

F/m,q=1.6×10 库,试计算:

-19

?n0?Ncexp(?Ec?EF)得: (1分) kTNc1019Ec?EF?kTln?0.026ln16?0.18eV (1分) ND10?Ws??s?(Ec?EF)?4.18eV(1分) (0.5分)(0.5分) ⑵ 在零偏压下,半导体表面的势垒高度为:

qVD?Wm?Ws?5.20?4.18?1.02eV

(1分) (0.5分)(0.5分)

对n型半导体,因为Wm>Ws,所以此时的金半接触是阻挡层(或整流)接触(1分),半导体表面能带向上弯曲(或:直接用能带图正确表示出能带弯曲情况)(1分)。 ⑶ 势垒的宽度为:

d?(2?r?0VD1/2)qND(2分)

2?12?8.85?10?14?1.021/2?()

1.6?10?19?1016?3.7?10?5(cm)(1分)(1分)

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七、T=300 K下,理想MOS电容,其能带图如下图所示。所施加的栅极偏压使得能带弯曲,在Si-SiO2界面EF=Ei。Si的电子亲合势为4.0 eV ,Nc=10cm。利用耗尽近似,回答下列问题:(5+5+5+5+6=26分)

19

-3

EFm Ec EFs Ei Ev 0.59 eV 0.29eV ρ x

(1.5分) (1.5分) 1.

半导体中达到了平衡吗?为什么?(5分)

2

答:达到了平衡。因为半导体中EF处处相等(或EFn=EFp=EF,或np=ni,或J=0 )。 (3分) (2分)

2. 求出半导体Si-SiO2界面EF=Ei处的电子浓度?同时绘出与该能带图对应的定性电荷块图。(5分)

n0?Nce?Ec?EFkT?1019e?0.590.026?1.38?109cm?3??

(1分) (0.5分) (0.5分) 或

EFS?Ei?ns?ni?1.5?1010?cm?3? (1分)... (1分)

电荷块图见上图(评分标准在电荷块图下方)

3. 求出ND?(5分)

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ND?Nce?Ec?EFkT?Nce?Eg?(EFs?Ev)kT?10e19?1.18?(0.29?0.59)0.026?9.68?1013?cm?3?

(3分) (1分) (1分)

4. 写出VG详细表达式?(5分)

VG?V0?VB?V0?kT?NDln?q??ni??? 或VG?V0?VB ? (2分)(3分)

5. 如果两个n型半导体构成的MOS结构除了器件1是Al栅,器件2是Au栅,其它参数都相同,将导致这两个MOS

结构的高、低频C-V特性曲线发生什么定性变化?试绘出定性高、低频C-V特性曲线。已知WAl=4.25 eV,WAu=4.75 eV。(6分)

(1)VFB(Al)<0, VFB(Au)>0

(1分) (1分)

或:直接在C-V图中VG坐标上明确标出VFB(Al)位于VG坐标轴负方向(1分),VFB(Au) 位于VG坐标轴正方向(1分) (2)判题时请注意,如果考生将两个C-V曲线分别绘在两个坐标图中,注意VFB(Al)是否位于VG坐标轴负方向(1分)、VFB(Au) 是否位于VG坐标轴正方向

Al栅C-V:2分(高频C-V 1分+低频C-V 1分) Au栅C-V:2分(高频C-V 1分+低频C-V 1分)

C Al栅(低频各1分) Au栅 (高频各1分) VFB(Al)

VG

VFB(Au)

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