发布时间 : 星期三 文章中科院苏州纳米所实习报告更新完毕开始阅读
一、实习目的
了解专业理论知识，了解相关微纳加工技术，包括光刻、薄膜沉积、刻蚀、CMP及封装工艺将理论与工艺操作结合，熟悉超净间工作环境，了解元器件加工生产工序和生产设备，加强理论跟实践密切相结合，提升专业素质和专业技能。
二、实习单位及岗位介绍
实习单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米加工公共平台 实习岗位：工艺实习员
岗位介绍：纳米加工平台是集微米、纳米加工和检测手段于一体，具有先进的、有特色的多功能的加工平台。在纳米加工平台的工艺实习员在优秀的老师的指导下完成样品微米、纳米加工和检测，按照要求并做好记录，完成必要的报告文献。
三、实习安排
周次 第一周 日期 7.4 7.5 7.6 安排 乘车前往苏州，办理入住事项 上午在苏纳所进行入所教育，下午参观超净间 加工平台综合培训，主要包括超净间的使用，平台安全事项的介绍以及常用小型设备的介绍三方面 7.7 7.8 第二周 7.11 清洗间培训以及清洗间实际操作的考核 综合培训考试 理论培训，包括光刻，刻蚀，薄膜沉积以及封装等四项工艺 7.12-7.15 分组进入超净间实地学习，我们小组分配在203室
第三周 7.18-7.20 小组轮换超净间，我们小组轮换到103室 7.21 上午职业技能考试，下午分组汇报学习成果，颁发结业证书 7.22
办理手续，离苏返校 四、实习内容及过程
7.4全班同学在老师的带领下一起乘车抵达苏州，办理入住并熟悉周围环境。
7.5入所教育及超净间参观 一，苏纳所简介
经老师介绍及相关资料的查询我了解到苏纳所的概况：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所（简称中科院苏州纳米所）由中国科学院与江苏省人民政府、苏州市人民政府和苏州工业园区共同出资创建，位于风景秀丽的苏州工业园区独墅湖科教创新区内。根据中国科学院调整科技布局的规划，面向国际科技前沿、国家战略需求与未来产业发展，开展相关领域基础性、战略性、前瞻性研究。建设公共技术平台，为我国现代制造业与高新技术产业发展不断提供新的知识与技术，发挥国家研究机构的骨干与引领作用。
当前主要的研究内容：信息领域，能源领域，环境领域，生命与医学领域。 老师同时也为我们介绍了苏纳所研究生招生，待遇，以及发展等情况。 二，纳米加工平台
老师首先为我们介绍了微电子技术整体的发展：从1947年肖克利团队发明第一个锗晶体管到60年代后集成电路的出现及发展，一直到今天仍在蓬勃发展
的超大规模集成电路，微电子技术在人类社会信息化的过程中起到了不可替代的巨大作用。而在发展过程中它又衍生出许多的交叉学科，如微机电系统，生物芯片等，也都是具有广阔应用前景的技术。
纳米加工平台的定位及特色：国际先进水平，面向国内外开放的纳米科学研究和成果转化的公共技术平台。加工精度最小为10nm。
纳米加工平台的加工能力：微纳米电子器件，光电子器件，微纳光机电系统，生物传感器及生物芯片，化合物半导体器件。
平台设备概况：主要包括镀膜，刻蚀，光刻，掺杂，封装等工艺的设备。 平台现阶段研究方向：宽带隙半导体材料与器件（主要包括功率器件，InP光电器件以及微电子机械系统），新型信息功能材料及器件（自旋电子器件，可用于非易失性存储器，传感器，硬盘，自旋发光二极管，微波器件，自旋晶体管等），二维材料纳米器件。 三，超净间参观
老师带领我们参观了超净间一楼及二楼的几个实验室，简单介绍了相关的一些仪器及注意事项，着重提到了清洗间，灰区，黄光室等。
7.6加工平台综合培训（超净间的使用，安全知识，常用小型设备介绍） 一，超净间的使用（主要包括超净间使用指引，超净间进出步骤，超净间管理规定，设备预约四方面）
超净间使用指引：老师解释了纳米加工平台用户培训的流程，介绍超净间每个楼层的具体布局。每个实验室旁边都有一个灰区，用来存放相关的设备和器材，清洁度要求比超净间低，可以节约一定的能源，同时一些有毒有害物质也存放在
里面，所以一般非工作人员禁止进入，非紧急情况禁止进入。每一层都有两个安全门。
超净间进出步骤：穿一次性鞋套（不能将未穿鞋套的脚放置在鞋柜内或将穿鞋套的脚放置在鞋柜外）—指纹门禁（严禁一人按指纹多人进入）—一次更衣—二次更衣（口鼻完全遮住，头发不外露，手腕不外露）—风淋室，出来步骤相反，但二次更衣手套要最后一个脱掉。
超净间管理规定：听从平台工作人员的指导和指示，平台工作人员有权纠正违反加工平台规章制度人员的行为。使用设备时，如存在任何疑问，应及早主动与平台工作人员沟通或咨询。除在相关工作区域作业外，不能随意走动。非紧急情况严禁进入灰区。湿法腐蚀只能在清洗间进行。光刻间（104和105）限制人数，无工艺者不能进入。未经平台规定的培训并考核合格及预约人员不得擅自操作任何设备。未经许可，严禁挪动任何设备、仪器和装置。工艺之前必须进行网上预约。未经许可，除待加工样品、光刻版外严禁带入任何物品。在超净间内严禁吸烟、拍照、摄像、饮食、接打手机。必须保持工作环境整洁有序。在非紧急状况下，严禁使用应急设备和设施（灭火器、消防栓、灭火毯、六氟灵、逃生门、洗眼器、淋浴器、急救包、排烟口开放装置）。
设备预约：使用设备必须先在平台网站进行预约。预约时间注意点：工作时间（上午9:00-12:00，下午13:30-18:00）可以随时预约（仅限可以自己操作设备的用户）。中午12:00-13:30，需提前1小时以上预约,下午18:00以后的工艺需在下午17:00前预约。周末时间需在周五下午16:00前预约。 二，安全知识（安全意识，水电气安全，消防安全，逃生路线，化学品安全）
安全意识：树立正确的安全意识是事故防范及处理的基础。